09
Th11
Th11
Checklist hiệu chuẩn khi commissioning nhà máy bán dẫn: phân biệt CO/CQ và giấy hiệu chuẩn, loop check, FAT/SAT, sổ theo dõi và timeline 30-60-90 ngày.
Lưu trữ tác giả: Beamex
09
Th11
Th11
Hiệu chuẩn burn-in và buồng thử nghiệm độ tin cậy: mapping nhiệt độ buồng, đo bề mặt DUT bằng thermocouple, và hiệu chuẩn chuẩn nhiệt dry block đúng cách.
09
Th11
Th11
Khi nào nhà máy bán dẫn nên tự xây phòng hiệu chuẩn ISO 17025 nội bộ? Hạ tầng, chuẩn tham chiếu, uncertainty, hồ sơ và bộ thiết bị workshop cần chuẩn bị.
Kiểm soát độ ẩm và ESD trong phòng sạch bán dẫn: hiệu chuẩn ẩm kế, transmitter độ ẩm, datalogger nhiệt-ẩm, đồng hồ ESD và ionizer theo tần suất dựa trên rủi ro.
Hiệu chuẩn áp suất và lưu lượng khí trong fab: MFC, cảm biến chân không, áp suất buồng khí N2/Ar. Cách phát hiện rò rỉ gây sai recipe và chọn thiết bị phù hợp.
Hiệu chuẩn nhiệt độ phòng sạch và lò CVD/Diffusion: cách hiệu chuẩn thermocouple, RTD, transmitter, mapping buồng lò và tính độ không đảm bảo đo trong thực tế.
Hướng dẫn hiệu chuẩn nhà máy bán dẫn: 8 nhóm điểm đo cần kiểm soát gồm nhiệt độ, áp suất, lưu lượng khí MFC, độ ẩm và ESD, giúp giảm wafer scrap và yield loss.
Hiệu chuẩn hiện trường (field calibration) hay phòng lab? So sánh chi phí tháo lắp, downtime, sai số và khi nào bắt buộc lab ISO 17025 — kèm bảng so sánh.
Nhà máy điện tử nhiều thiết bị đo vẫn quản lý bằng Excel? Phần mềm quản lý hiệu chuẩn Beamex CMX giúp traceability, audit trail, sẵn sàng ISO 9001, IATF 16949.
Sai số đo điện áp, dòng, điện trở trên ATE, tester, burn-in board, nguồn DC và tải điện tử gây test escape và yield loss. Hiệu chuẩn thế nào cho đúng?